駿佳科技有限公司
Junjia Tech Corp.

  
 
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  Pillar
    - Spela 300 Bellows Pump
    - Slurry Pump
    - Platstic Pump
    - Pilaflon Valve
- PFA Tube
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橡皮槍
     
     
Nippon Pillar
  Pillar Slurry Pump
   

用途:

在半導體製造的化學機械研磨(CMP)製程中提供研磨液(Slurry)的供應與循環
  特點:
  1. Bellows採垂直方向設計, 研磨液不會累積阻塞在Bellows中
  2. High precipitation speed, 可用於金屬材料的Slurry(metal-base slurry)及矽基材料Slurry (Silica-base slurry).
  3. 獨特的且具經驗的Bellow設計,壽命長。
  4. Pump與Slurry接觸的材料都由氟素塑膠材料製造, 保證清潔及不產生particle.
  5. Slurry Pump與指定的蓄壓器(Accumulator)結合使用,可讓Slurry穩定的以低脈動輸出。
     
  可提供產品型號:
    PS-E series 中溫型
   

型號

Type

最大吐出量(ℓ/min)

Max. Discharge Capacity

 Max. Supply air Pressure (MPa)

使用溫度(。C)

Operating Temp.
PC-10MB 12 0.5 10~100
PC-20MB 24 0.5
PC-40MB 48 0.5
     
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